臭氧在電子業(yè)中的應(yīng)用

電子行業(yè):達(dá)到國(guó)家電子行業(yè)各級(jí)用水標(biāo)準(zhǔn)。應(yīng)用于微電子產(chǎn)品微電子產(chǎn)品生產(chǎn)用高純水、半導(dǎo)體、顯象管等制造業(yè)用高純水、電腦電路板等集成電路板生產(chǎn)用高純水、太陽(yáng)能電池。電子行業(yè)中的大多數(shù)廠家都或多或少地使用或加工PCB,當(dāng)在PCB上焊完組件后,需要對(duì)表面的焊劑進(jìn)行精密清洗.傳統(tǒng)的PCB清洗廣泛采用ODS(臭氧消耗物質(zhì)).本文介紹了幾種滿足國(guó)際環(huán)保要求的ODS清洗替代品。

    液晶顯示器行業(yè)目前一般采用ODS臭氧機(jī)溶劑清洗.對(duì)一種新型水基替代ODS清洗技術(shù)進(jìn)行了研究,利用X射線光電子譜的測(cè)試方法,比較用兩種清洗技術(shù)清洗過(guò)的樣品,結(jié)果表明,新型替代清洗技術(shù)優(yōu)于清洗技術(shù).

    由于精密金屬零件表面潔凈度要求很高,目前一般采用ODS溶劑清洗.介紹了一種非ODS清洗技術(shù),并利用X射線光電子譜等測(cè)試方法,分別比較用兩種清洗技術(shù)清洗過(guò)的金屬零件表面,結(jié)果表明新型清洗技術(shù)優(yōu)于傳統(tǒng)ODS清洗技術(shù).由于零件表面的污物組分復(fù)雜，真空電子器件，如CPT、CDT用的銷釘、陽(yáng)極帽等零件原來(lái)全部采用ODS溶劑清洗。為獲得極潔凈的表面，本文介紹一種非ODS水劑清洗技術(shù)。其清洗劑主要組分包括脂肪醇聚氧乙烯醚、烷基醇酰胺等多種表面活性劑和助劑，符合對(duì)人無(wú)毒、對(duì)環(huán)境無(wú)毒、對(duì)臭氧層無(wú)損耗、不含磷酸鹽及壬基乙基鹽等綜合要求。對(duì)清洗過(guò)的零件，進(jìn)行常規(guī)檢驗(yàn)和X射線能譜分析的結(jié)果表明，非ODS水劑清洗工藝的清洗能力和漂洗性能都相當(dāng)于或優(yōu)于原TCA清洗工藝。